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随后他说道:“从总啊!赶紧进来!”
他安排从越坐下之后又赶紧催道:“老太婆,赶紧倒杯茶过来!”
从越赶紧客气道:“不用不用,我说几句话就走!”
熊院士不答应:“这怎么行?你这么晚来找我肯定有重要的事?对了!你晚饭还没吃吧?”
从越笑道:“从金陵赶回来的,直接就来找你了!”
熊院士又赶紧安排道:“老婆子,下一碗面条,多打几个鸡蛋!”
从越连忙起身客气道:“简单点就行,不要太麻烦了!”
熊院士按住从越的肩膀道:“你坐你坐,一会就好,不瞒你说,你阿姨下的面条好吃的很哦!”
这是熊夫人的声音从厨房传了出来:“别听我家老头子瞎说,太晚了家里没有别的了,小从你就将就一下吃点面条吧!”
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从越对着厨房说道:“面条就很好了,麻烦你了阿姨!”
熊院士打断了从越的话问道:“从总你赶紧说什么事啊?”
从越满脸兴奋的说道:“好消息,193nm波长的ArF氟化氩准分子激光光源研发成功了,这个月两台光源就将运到你这里,第四代光刻机可以开始制造测试了!
熊院士一听,立即问道:“最高加工精度多少?”
从越比划了一下:“35-120nm之间!”
熊院士又问道:“是用什么扫描方式?”
从越回道:“用的还是步进式!”
熊院士兴奋的说道:“可以是可以,但我们刚刚有了一个方案,从理论上来说如果用浸没式步进扫描的话精度应该会更好。本来想用在三代光刻机上的,这下直接用在四代机上更合适!”
从越突然想到了:“用纯水?”
熊院士回道:“是的,纯水不会有杂质,能更好的的反射光源!”
从越立即拍腿道:“这个方案可行性很高,我支持!”
这是熊夫人将面条端给了从越:“小从,赶紧吃饭,吃完饭再聊工作,身体最重要!”
从越接过面条:“谢谢!阿姨!”
从越也确实饿了,一顿稀里哗啦就把一大碗面给干完了,熊夫人还要给他盛,从越赶紧拒绝道:“饱了饱了!阿姨千万别再给我盛了!”
吃饱之后,从越继续跟熊院士进行一些技术上的探讨,直到很晚,从越见时间不早了害怕影响熊院士休息,就赶紧告辞回家了,约好明天上班再聊!
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